Centrale Technologique de Recherche et Développement

Le groupe Recherche et Développement Instrumental, au sein du Laboratoire d'étude de l'Univers et des phénomènes eXtrêmes (LUX), de l'Observatoire de Paris dispose d'une Centrale Technologique de Recherche et Développement (CTRD) et d'une salle blanche faisant partie du réseau parisien des salles blanches de proximité de Paris et du réseau national RENATCH+.

La CTRD contribue aux développements de nouveaux capteurs, particulièrement supraconducteurs, et micro-dispositifs pour les applications en astronomie. Elle regroupe les moyens de nano et microfabrication, notamment une salle blanche d'une surface de 40m², une salle de micromontage, un salle de découpe ainsi qu'un laboratoire de tests cryogéniques. Ces savoir-faire développés pour l'astronomie peuvent être utilisés dans n'importe quel autre domaine d'application (médical, industrie,..).

La salle blanche de classe ISO7 est aménagée en deux zones :
- une zone accueillant un bâti de dépôt par pulvérisation cathodique, un bâti de dépôt par évaporation cathodique et un bâti de gravure RIE;
- une zone inactinique réservée aux procédés photo-lithographiques dans laquelle sont installées 4 hottes à flux laminaires de classe ISO5.

La salle blanche jouxte une salle grise de 30m² dans laquelle sont installés deux autres bancs de dépôts (un bâti de pulvérisation cathodique, et un par évaporation).



Cette centrale est accessible par tout le personnel des laboratoires de l'Observatoire de Paris, mais également ouverte aux sociétés ou institutions extérieures ayant fait la demande.

Nos moyens de réalisations

Voici les divers équipements utilisés dans notre centrale technologique.

Dépôt de couches minces

Bâti Plassys MP700S

• Taille des wafers: 100mm
• Gaz de process: Ar, N2, O2
• Cibles disponibles: Au, Ti, Al

Bâti Phénix

• Taille des wafers: 50mm
• Gaz de process: Ar, N2, O2
• Cibles disponibles: Al, Nb, NbTi

Bâti d'évaporation non diélectriques

Matériaux: Au, Cr, MgF2

Bâti d'évaporation diélectriques

Matériau: SiO2

Dépôt d'or par plasma

Description...

Gravure de couches minces

Bâti de gravure RIE

Cleaner plasma à oxygène

Lithophotographie

Modules de chimie (acides, bases, solvants, enduction de résine photosensible)

Modules de chimie (acides, bases, solvants, enduction de résine photosensible)

Tournette & Plaque chauffante

Tournette & Plaque chauffante

Machine d'alignement et d'insolation MJB4 (UV3, UV4)

Machine d'alignement et d'insolation MJB4 (UV3, UV4)

Banc d'insolation de trames de microlentilles

Banc d'insolation de trames de microlentilles

Caractérisations

Microscope optique OLYMPUS

Microscope optique OLYMPUS

Microscope optique LEICA

Microscope optique LEICA

Microscope électronique à balayage HITACHI

Microscope électronique à balayage HITACHI

Profilomètre mécanique BRUKER

Profilomètre mécanique BRUKER

Résistivimètre 4 pointes

Résistivimètre 4 pointes

Découpe et montage de composants

Découpe

Scie DAD 321

Montage

Machine de micromontage bonding

Mesures cryogéniques

Cryostat 300mK

Cryostat 300mK

Compresseur à hélium, chiller

Compresseur à hélium, chiller

Mesures de températures critiques

Mesures de températures critiques

Quelques réalisations

Quelques projets qui illustrent notre savoir-faire.

Détecteurs KIDs

Les détecteurs à inductance cinétique (KIDs) sont basés sur la mesure de la variation de l'inductante cinétique causée par l'absorption de photons dans une fine bande de matériau supraconducteur. La variation de l'inductance est généralement mesurée comme la variation de la fréquence de résonance d'un résonateur à micro-ondes. Ces détecteurs sont également connus sous le nom de détecteurs d'inductance cinétique à micro-ondes (MKIDs).
Ils sont une technologie de détection cryogénique de premier plan pour le domaine de l'astrophysique millimétrique de par la sensibilité des détecteurs et leur capacité à être assemblés en de grandes matrices. Ces détecteurs utilisent le multiplexage dans le domaine fréquentiel permettant la lecture de milliers de pixels sur un seul câble coaxial.
Sur la photo ci-dessous, on peut observer une matrice de 20 000 pixels réalisée pour le projet financé par un ERC utilisant la technologie des MKIDs, SPIAKID.

Jonctions SIS

Coronographie

Microlentilles

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